產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
烘箱適用范圍
烘箱主要用戶半導(dǎo)體光刻工藝中硅片表面改性；增加光刻膠對硅片的黏附性。
詳情介紹：
YES HMDS 烘箱
產(chǎn)品簡介
烘箱主要用戶半導(dǎo)體光刻工藝中硅片表面改性；增加光刻膠對硅片的黏附性。
技術(shù)參數(shù)
基片尺寸：支持2、3、4、6、8英寸基片及破片
溫度范圍：RT～160℃
溫度精度：＋/-1℃@100℃
加熱時間：30min @RT~160℃
