Huace-4簡(jiǎn)易探針臺(tái)
華測(cè)系列探針臺(tái)可滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等，外形輕盈，操作方便，價(jià)格實(shí)惠；
特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等.
◆ zui大可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)
◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用
◆ 形狀輕巧，操作方便，價(jià)格實(shí)惠
探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制
設(shè)備規(guī)格
序號(hào)
尺寸
4英寸/6英寸
1
水平旋轉(zhuǎn)
可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
2
X-Y移動(dòng)行程
2英寸*3英寸
3
X-Y移動(dòng)精度
10微米
4
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)
可升降10mm
5
樣品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
6
針座平臺(tái)
左右各一個(gè)針座平臺(tái)，zui多可放置6個(gè)探針座
7
背電極測(cè)試
樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
8
外形尺寸
400mm長(zhǎng)*380mm寬*500mm高
9
重量
約20千克
光學(xué)系統(tǒng)
1
顯微鏡類型
單筒顯微鏡/體式顯微鏡
2
放大倍率
16X-200X
3
移動(dòng)行程
水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm
4
光源
外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
5
CCD
200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
定位器
1
X-Y-Z移動(dòng)行程
12mm*12mm*12mm
2
移動(dòng)精度
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
3
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
4
線纜
同軸線/三軸線
5
漏電精度
10pA/100fA/10fA
6
固定探針
彈簧固定/管狀固定
7
接頭類型
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子
8
針尖直徑
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
9
針尖材質(zhì)
鎢鋼/鈹銅
可選附件
1
加熱臺(tái)
2
顯示器
3
轉(zhuǎn)接頭
4
射頻測(cè)試配件
5
屏蔽箱
6
光學(xué)平臺(tái)
7
鍍金卡盤
8
光電測(cè)試配件
